凈化是關鍵

  我們來看一下電子級氯化氫的凈化是關鍵的。

  在續(xù)批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫，以及應用于醫(yī)藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫。產品性能先進，質量穩(wěn)定，處于國內領先地位，達到國際先進水平。鋼瓶裝電子級氯化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業(yè)部專用材料質量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質含量小于5ppm，符合國家標準GB/T24469-2009。

在氯化氫廣泛應用于半導體是、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子級氯化氫的純度提出了越來越高的要求，電子級氯化氫的的凈化愈加關鍵和重要。目前國內的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將氯化氫傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產品缺陷， 提高制程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。

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