電子級氯化氫的制備與分析各方法

     鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在七十年代末期發(fā)展出來的。然后，經(jīng)過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水以及二氧化碳，壓縮至1.2Mpa，進(jìn)行低溫精餾，再經(jīng)過低溫吸附除去氮后壓縮至4.2Mpa，然后再進(jìn)行裝瓶。

     發(fā)生法是在七十年代以前，電子工業(yè)用高純度氯化氫的制備一直是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中，將其中的水吸收掉，使得過飽和的氯化氫氣體析出。到了七十年代到八十年代初期，制備方法發(fā)展到用濃硫酸與焙烘干的食鹽反應(yīng)，生成高純度的氯化氫氣體，再用壓縮機(jī)壓入鋼瓶中。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進(jìn)行燃燒反應(yīng)生成氯化氫氣體是八十年代初為適應(yīng)我國電子工業(yè)的迅速發(fā)展而提出的，在技術(shù)上較為先進(jìn)，由合成爐出來的氯化氫氣體經(jīng)常溫、低溫干燥和吸附凈化，在低溫、低壓下冷凝，排除不凝氣體雜質(zhì)，以液態(tài)裝瓶。氯、氫合成中，氫過量5％左右，氯化氫氣體中含氫高，以間歇精餾裝置除氫。此外，原料氫是經(jīng)鈀膜擴(kuò)散提純，生產(chǎn)規(guī)模受到一定限制。 

     發(fā)生法以及脫析法生產(chǎn)規(guī)模較大。