電子特氣的凈化更加至關(guān)重要

    現(xiàn)在推動科技發(fā)展的高新技術(shù)有很多，電子工業(yè)也是當之無愧的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，電子特種氣體的發(fā)展更是直接帶動高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要關(guān)鍵，今天就為大家介紹一下這個當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
    電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比,電子氣體特殊在氣體的純凈度要求極高,所以也稱為電子特種氣體。   
    電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導(dǎo)體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展，對電子特氣的純度提出了越來越高的需求，電子特氣的凈化更加關(guān)鍵和重要。
    目前國內(nèi)的超高純度凈化技能首要依靠進口，本身的技能水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行結(jié)尾凈化，使電子特氣純度由ppm級進步到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進工藝才能，下降產(chǎn)物缺點， 進步制程的產(chǎn)值，滿意下一代半導(dǎo)體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開展的需求。本項目將構(gòu)成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技能，處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產(chǎn)化問題。
    以上內(nèi)容就是言赫今天為大家介紹關(guān)于電子特氣的有關(guān)知識，相信您已經(jīng)對這個新型產(chǎn)業(yè)有了一定的了解，如果您還有什么想要咨詢的，歡迎來電咨詢。
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